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调焦调平测量系统是光刻机对焦控制的核心部件,调焦调平测量系统的数据处理精度影响光刻机的对焦控制性能,计算速度影响光刻机产能。论文通过仿真与实验对比分析了多项式拟合算法(polynomial fitting)、RF(random forest)算法和XGBoost(extreme gradient boosting)算法在调焦调平测量系统中的测量精度与计算耗时。仿真与实验结果表明,多项式拟合算法精度随时间变化不敏感,RF算法和XGBoost算法精度随计算时间的增加而迅速提升。对于不存在噪声的仿真数据,7阶多项式拟合的3σ值为0.001nm;RF算法在2ms时可对仿真数据完全拟合;XFBoost算法在5ms时,拟合精度基本趋于稳定,为0.6nm。对于存在噪声的实验数据,RF算法与XGBoost算法对噪声有较好的鲁棒性,随计算时间的增加,RF算法与XGBoost算法拟合精度不断提升并分别于3ms和5ms超越多项式拟合算法,但精度提升有限。在光刻机中,为了兼顾对焦精度和产能,必须兼顾算法的拟合精度与拟合时间,因此调焦调平测量系统选用多项式拟合算法较为合适。 相似文献
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以来自自然界储量第二的木质素作为膨胀型阻燃剂的基体,通过接枝氮、磷元素成功合成碳源、酸源、气源三位一体的木质素基膨胀型阻燃剂（Lig-T）,实现了良好的阻燃性能。将Lig?T按照不同含量添加到环氧树脂（EP）中制备EP/Lig-T复合材料,以锥形量热测试考察复合材料的热稳定性能和阻燃性能,并重点考察复合材料在接近真实火灾事故时的热释放和烟释放规律。结果表明,当Lig-T含量为20 %（质量分数,下同）时,复合材料的热释放速率峰值为1 374 kW/m2、热释放总量为41.63 MJ/m2、烟释放总量为1 634 m2/m2,与EP参比试样的数值相比,均呈现下降的趋势,燃烧结束的残炭率从4.26 %增至10.01 %。基于气相和凝聚相的协效阻燃机理,木质素作为膨胀型阻燃剂的碳源使得复合材料在高温条件下具备更好的成炭效果,在燃烧过程中形成稳定且致密的炭层结构,在实现高效阻燃的同时减少有毒烟气的释放,降低火灾的危害。 相似文献
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以双气缸协作为案例,分析了常用控制方案的优缺点,针对其中的不足之处,设计了以单片机为信号处理模块的双缸协作控制系统,利用软件平台分别完成了气动回路、电气回路与信号处理模块设计、仿真与制作。实践证明该试验台安全可靠、内容充实、操作性强、教学方便,能以较低成本完成集气动控制、电气安装、电子制作和单片机编程为一体的课程教学。 相似文献
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以智能家居系列产品中的无线遥控开关为例,介绍了在“大众创业、万众创新”背景下三维打印技术对产品设计和制造阶段的影响,分析了数模处理、切片、后处理等三维打印工艺,并对三维打印技术未来的发展进行了展望。 相似文献
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为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击为优化指标,设计了加速时间段内的5阶S曲线。在优化指标冲击力项中引入了可变参数,可以根据加速时间和执行电机进行调整,在光刻机设备允许的范围内缩短加速时间。仿真结果表明,相对于数值方法设计的S曲线,优化S曲线加速时间明显缩短并且加速度曲线平滑。冲击力项系数对加速时间和S曲线的平滑性有很大影响。 相似文献
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为减小双工件台光刻机的换台时间,提出了一种改进5阶S轨迹和时间-冲击最小控制算法．分析了双驱双桥换台策略,曝光位和预对准位的两个工件台依次执行5个点对点运动完成换台过程．在常规数值积分S轨迹设计方法中,增加了减小冲击的优化项,设计了改进5阶S轨迹使加速度曲线更加平滑．以换台过程的时间-冲击最小为优化指标,为工件台系统设计了最优控制算法从而大幅度减小换台时间,并且克服了单纯以时间最优Bang-Bang控制中加速度突变的缺点．仿真和实验结果表明,利用轨迹规划和最优控制方法可以实现快速换台运动,改进5阶S轨迹加速度曲线最平滑,时间-冲击最优控制比5阶S轨迹具有更短的换台时间． 相似文献
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通过对智能园区各种信息传输介质及传输网络技术的优缺点的分析,进而确定了智能园区最终的设计方案。 相似文献
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以数控竞赛样题为例,分析了零件结构,制定了加工工艺,采用CAXA制造工程师软件编制数控加工程序,重点阐明了3+2定向加工加工编程要点,以及基于Module Works组件的部分五轴加工策略的使用方法.最后通过Vericut软件仿真,验证了CAXA制造工程师软件的编程高效性及可靠性. 相似文献
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