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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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钢铁冶炼生产中的原辅材料简称为冶金炉料。它通常包含铁矿石、废钢、生铁、焦炭、铁合金等。“十一五”以来我国钢铁工业蓬勃发展,钢铁产量连年增长,冶金炉料货紧价扬,多数品种供求两旺。 相似文献