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用于溅射负离子源的透射表面电离器的研制 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了1种应用于表面电离型溅负离子源的球面形透射表面的电离器,并阐述了原理。这种电离器可使铯蒸气直接通过,避免了铯蒸气绕射造成电离表面铯原子通量低的缺点,增大了铯离子的产额也使离子源的流强较采用非透射型电离器时提高了50-87%。‘ 相似文献
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本文报导0.6~5MeV高能Si~+离子注入LEC半绝缘GaAs的快速退火效果,在950℃温度下退火5秒得到最佳电特性.采用多能量叠加注入已制备出平均深度在1.2μm,厚约1.7μm的n~+深埋层,载流子浓度为3~5×10~(17)cm~(-3).在近表面单晶层上作成了性能良好的肖特基接触,其势垒高度约为0.7V. 相似文献
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本文阐述了束-箔方法测量原子、分子离子激发态寿命的原理和优点,阐述了我们的实验过程和得到的一些结果。 对于实验误差进行了分析、讨论,提出了我们实验中的三个误差来源。 相似文献
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自制358型双等离子体离子源阴极 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了对2×1.7MV串列加速器上一台358型双等离子体离子源的阴极改进工作,自制镍基氧化物阴极,使此源引出的He~+束和H~-束较原铂网阴极分别提高了16%和34%。引出He~+束时,可工作于自持放电状态。此阴极连续工作寿命>40h。 相似文献
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利用通用离子公司(GIC)的4117型1.7MV Tandetron离子束分析设备进行MeV级离子注入。所注入的离子能量范围由500keV到10MeV,离子的质量在240u以下,某些元素的负离子束流强度在150μA以上。双向机械扫描技术可将离子均匀地注入样片。 相似文献
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