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1.
能量为几十千到几百千电子伏离子射入材料表面,使表面层的组成与结构发生改变,从而引起材料表面的物理与化学性质的变化,这种材料改性方法有极其重要的应用。如摩擦、润滑性、耐磨损性、表面硬化、抗高温氧化性、耐腐蚀性、催化及附着力改善等。虽然离子注入可改善材料这些性质,但由于经济与技术上的原因,最重要的研究集中在耐磨损性、抗高温氧化性及某些耐蚀性上,而耐磨性的研究以工具上的应用为最多。  相似文献   
2.
3.
在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理,其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明,退火前的沉积膜相组成与沉积过程中衬底温度有关,退火后的沉积膜相组成与退火方式有关,其形貌特征经不同形式退火显示出明显的差别。  相似文献   
4.
低能离子束形成类金刚石膜   总被引:1,自引:0,他引:1  
我们用离子束沉积枝术,制造出了奇异性能的类金刚石碳膜(DLC膜)。初步测试了它的部份机械特性、光学特性、电气特性,化学特性。并且,通过扫描电子显微镜、二次离子质谱、X射线光电子谱、透射电镜、电子衍射等手段,初步确定出DLC膜属于多晶碳膜,不少微区出现金刚石晶粒。  相似文献   
5.
6.
不同工艺规范的离子束、电子束,原子束结合沉积NiCoCrAlYZrO_2·Y_2O_3热障复合涂层试样进行了1000℃ 300小时等温氧化及金相、电子探针、XRD分析。结果表明,沉积的涂膜具有优良的抗氧化性能,基体缺陷导致涂膜局部剥落是本试样涂层高温氧化失效的原因。  相似文献   
7.
离子注入是在高真空下以一定的能量将离子注入金属材料表面的一种技术,可明显地提高金属的耐磨性、耐疲劳性、表面硬度、耐蚀性及抗高温氧化性。与常规的整体合金化方法及扩散渗透、镀层等表面处理相比较,离子注入法有不受热力学平衡相图、扩散规律限制,节约合金原料及不存在明显界面等突出的  相似文献   
8.
一、引言离子注入是一种表面处理新技术,最先应用于半导体材料的掺杂。70年代,人们研究将其用于金属材料的表面改性,发现该技术与常规的整体冶金及扩散渗镀等方法相比有着不受热力学平衡相图、扩散规律限制,节约合金原料及不存在明显界面等优点,因而受到国内外的重视。国外已制出多种商用离子注入机,将该技术用于工业材料处理。国内研究开始较晚,尚未见到实际工业应用。在各种离子的注入中研究最多的是氮离子。氮离  相似文献   
9.
对射频磁控溅射沉积的ZrO2-12wt%Y2O3薄膜进行了电子束处理和热退火处理.通过XRD、XPS、SEM等的微观分析,研究了薄膜的相结构组成、薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目的而进行的后处理的方式选择作了讨论。  相似文献   
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