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NTDFZ(H)-Si单晶中氢沉淀的消除及其在功率器件中的应用陈燕生,刘桂荣,王培清(北京科技大学100083)(清华大学电力电子厂)陈炳贤,张文成,郑慧秀,解俊东(中国科学院原子能研究院)(冶金部自动化研究院)关键词:区熔,硅单晶,热处理,微缺陷,...  相似文献   
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