用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

L-苯丙氨酸的合成及其应用

苯丙氨酸是某些氨基酸药物和氨基酸营养食品所必需的成分,是合成某些抗癌药物的中间体。本文介绍了 L-苯丙氨酸的用途、合成方法及其发展远景。     

18%克·福种衣剂高效液相色谱测定

本文采用高效液相色谱法，以甲醇：水（５０：５０）作为流动相，采用ＯＤＳ－Ｃ１８色谱柱， 成功地测定了克·福种衣剂中有效成分含量。     

废水的反歧化生物脱氮技术研究进展

自荷兰学者Strous等在反硝化过程中发现了生物反歧化脱氮(厌氧氨氧化)现象之后,该技术在近十余年中已经成为废水脱氮领域的研究热点问题之一.并由于低廉的运行成本和快速的脱氮效率,而使其在高氨氮废水脱氮领域中具有广阔的应用前景.本文总结了生物反歧化脱氮技术的研究与应用发展过程,并对该技术的实际工程运用前景进行了展望.     

Linux NAT环境下网络音频视频问题的解决方案

本文介绍用系统RedHatLinux7.3、Kernel-2.4.18-3、iptables-1.2.5-3解决使用Linux作为NAT的用户无法通过互联网听到和看到互联网上其他用户的语音和影像的技术问题。     

生产工艺和大气腐蚀对混凝土钢筋耐蚀性的影响

本文提供的研究结果可用于考察生产工艺和钢筋表面质量对混凝土中钢筋耐蚀性的影响。实验钢采用水淬钢筋和空冷钢筋，研究混凝土中新鲜钢筋（即被清理和磨光的钢筋）以及被暴露在大气或加速盐雾中的钢筋的耐蚀性能。采用测量腐蚀电位和腐蚀电流密度方法来研究清洁的或已腐蚀的混凝土中钢筋的耐蚀性；以及采用加速强制电流技术采研究清洁的或已腐蚀的混凝土中钢筋的耐蚀性。与热轧工艺轧制的钢筋相比，混凝土试样中水淬钢筋开始腐蚀的时间更迟，腐蚀速率更低。与之相似，在混凝土试样中，已腐蚀的、经过大气暴露12个月的以及经过盐雾处理的钢筋的腐蚀速率要比没有经过暴露处理的更缓慢。本文数据也表明，由于冷却工艺不同，相对于空冷钢筋形成的轧钢铁皮来说，水淬钢筋形成的表面层对钢筋基体能提供保护作用。     

河南农村水电开发探讨

水电是清洁的可再生能源,可以起到改善生态、保护环境的有效作用。水力发电是利用江河源远流长的流量和落差形成的势能发电,将水能资源直接转换成电力的物理过程,它既不消耗和污染水,也不排放有害气体和固体废物,是清洁的能源。地球上水周而复始、循环往复运动着,因此,水资源也是可再生的能源。目前,全世界各国都优先开发水能资源。据统计,世界上有24个国家依靠水力发电提供国内90%的电力,中国当前的水电装机容量约占全国电力的24%,年发电量占14．8%。由于水电开发会使河流流态发生改变,进而会对自然环境产生影响。为此,水电项目开发过程必需按照科学合理规划、优化认真设计、安全保质建设、完善监测评估等程序来实施。     

非掺锑化镓抛光工艺研究

分析了非掺锑化镓单晶片的化学抛光机制和影响获得表面质量良好的非掺锑化镓单晶片的因素，得到了非掺锑化镓的抛光工艺参数。利用该工艺可以制备表面光洁、平整、无缺陷的非掺锑化镓单晶抛光片。     

同荷兰菲利浦公司代表在京进行技术座谈

1978年10月3日至9日,荷兰菲利浦(Philips)公司专家、技术人员与我国冶金自动化技术人员进行技术座谈。座谈按分析仪器、冶金过程自动化、电子秤三个专业组进行。(一)分析仪器重点介绍 PW1600型多道全