压电微泵性能的终端特性分析及其模拟研究

 根据压电微泵的结构及其功能可将其划分成6个功能块或子系统：压电片子系统、泵腔、入口阀子系统、出口阀子系统、入口通道子系统和出口通道子系统．对6个子系统建立终端特性模型，并进行有关终端特性分析．最后，将压电微泵子系统的终端特性模型进行了组合，得到整个系统的特性模型．对此进行分析，可以方便地获得压电微泵的性能特性．     

静电微泵的端点特性研究

针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题，建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型。使用端点特性建模技术，由拉格朗日方程得出微泵的运动方程，并给出了静电微泵的端点特性模型和流量表达式；利用能量耦合法和ANSYS分析软件，由宏模型的动态响应方程仿真静电微泵腔的端点特性量关系式。对静电微泵进行动态特性仿真研究，分析结果表明只需泵膜半径、泵膜厚度、静电间隙等参数就能分析微泵腔的动态响应，减少了计算过程的复杂性。