激光干涉比长仪的新型瞄准方法——提高线纹尺的测量精度

介绍一种在激光干涉仪上对线纹尺进行高精度瞄准的新方法－－单狭缝多点采集系统,详细描述了其设计方案和工作原理,并介绍了确定刻线定中心位置的计算方法、消除随机噪声的数字滤波法及对钟形曲线进行直线拟合的合适区段。实测数据表明,这种新型瞄准方法的测量不确定度有很大的提高。