高精度动态光电显微镜

本文介绍我们研制的高精度动态光电显微镜的工作原理、实验结果、技术性能及其特点。它采用了一种新的对准刻线的光电瞄准方法,瞄准刻线的单次对准精度为2σ≤±0.02μm。刻线移动(工作台运动)的速度可达5mm/s。