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我国"十五"期间IC制造装备的发展战略研究 总被引:9,自引:1,他引:8
本文将通过世界IC工艺装备的发展趋势和国内现状的分析,从十五“863”重大专项的角度,对我国的IC装备发展战略进行探讨,提出以100nm的光刻机等关键设备为战略目标,以自主技术创新突破和产业化为目的,实现我国IC装备技术和产业的跨越式发展。 相似文献
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电镀生成多孔膜是可行的,研究结果表明:溶液pH值、极距、添加剂、Ni2 浓度、电镀时间、电流密度对膜的透气度和最大孔径影响显著,温度的影响也较大.正交试验的结果得出了以上七个因素对电镀效果的影响次序.根据正交试验结果,综合考虑产品的透气度和最大孔径,本文确定最佳条件为:pH值4.5~5,极距30mm.Ni2 浓度20g/L,添加剂浓度0.15g/L,电流密度300A/m2,电镀时间20mim,温度40℃.在此条件下可制得孔径小于0.32μm,透气度为3×10.m/Pa·h的膜. 相似文献
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基于产品生命周期的绿色制造技术研究现状与展望 总被引:39,自引:5,他引:39
绿色制造是实现生态工业和社会可持续发展的关键技术,正在引起人们的高度重视。绿色制造要求在产品的设计和制造过程中考虑产品的整个生命周期,从而实现产品全生命周期对环境的负面影响最小,资源利用率最高。本文在综合大量文献和已有研究的基础上,系统地总结了基于产品全生命周期的绿色制造的概念、方法和工具,以及目前该领域的主要研究方向、技术和研究现状,并指出了今后研究的方向和趋势。 相似文献
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