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作为微电子器件中最具发展前景的高介电薄膜材料,HfO2薄膜得到了学者们的广泛研究。低漏电流是HfO2薄膜使器件获得优良性能的前提,但易受晶粒尺寸、氧空位和粗糙度等因素影响。针对反应磁控溅射所得薄膜表面粗糙度高及漏电流密度大等缺点,本文在溅射过程中通过在衬底施加偏压的方法降低了HfO2薄膜的漏电流密度。结果表明:通过在衬底施加适当的偏压使得Y掺杂HfO2(Y∶HfO2)薄膜的漏电流密度降低到8×10-8 A/cm2。漏电流密度的变化与薄膜粗糙度和晶粒尺寸有关,而薄膜粗糙度和晶粒尺寸主要受衬底偏压的影响,但衬底偏压对薄膜物相的影响可以忽略。通过施加衬底偏压,利用反应磁控溅射方法制备了低漏电流和高k值Y∶HfO2薄膜,可为高性能器件的制备提供基础。 相似文献
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根据当前网络系统的开放性、分布性等特点,分析并提出了一种基于Agent的多域网络安全模型,对基于Agent的多安全域、自治安全域和安全Agent体系结构进行了讨论。 相似文献
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1.前言我车间为φ6.5普通低碳钢热轧圆盘条专业生产车间,于1981年对精轧机组进行了彻底改造,用φ280×10复二重轧机更替了原来的φ250×7架横列式轧机,取得了较好地经济效益。在几年的生产过程中,我们发现,由于复二重轧机使用的是分段组合式铸铁围盘(图1),大而笨重,换孔型时,给操作工带来了极大困难。其主要缺点有:1.1 围盘是铸铁件,在安装时,进、出口处距离机架距空间小,工作环境恶劣,换孔型时,紧松进出口导卫盒螺栓时,手只能从侧下面伸进去进行工作,工作效率低,劳动强度大(见图2)。 相似文献
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通过实验研究设计,发明一种新型电镀液在线碳处理及再生工艺装置系统,解决目前印制电路板(PCB)企业电镀工序老化电镀液处理难的问题。采用该新型工艺及装置系统对老化电镀液进行再生处理,处理效率为传统碳处理工艺效果的2倍,处理时间仅为传统碳处理工艺时间的12.5%,处理成本较传统碳处理工艺成本低30%。该工艺可以电镀线最小单元独立处理,不影响产能。设备设计轻巧灵活,占地面积小。该新型处理系统不仅很好地为PCB企业解决老电镀液难处理问题,同时也实现了资源的循环利用,具有良好的经济效益。 相似文献
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DNA methylation is a chemical modification of the bases in genomes. This modification, most frequently found at CpG dinucleotides in eukaryotes, has been identified as having multiple critical functions in broad and diverse species of animals and plants, while mysteriously appears to be lacking from several other well-studied species. DNA methylation has well known and important roles in genome stability and defense, its pattern change highly correlates with gene regulation. Much evidence has linked abnorma... 相似文献
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张伟奇 《中国新技术新产品》2011,(14):199-199
本文从企业可持续发展的角度出发,分析了绩效管理在企业可持续发展中的作用,探讨了以企业可持续发展为导向的绩效管理体系的内容,以期为绩效管理研究提供一个新的视角。 相似文献
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试析负激励在企业管理中的运用 总被引:1,自引:0,他引:1
张伟奇 《中国新技术新产品》2011,(11):213-213
正激励和负激励作为两种相辅相成的激励类型,它们从不同的侧面对人的行为起强化作用。通过阐述负激励在企业管理中的运用,指出只有正激励和负激励相辅相成,形成一种良好的风范,才能够使整个群体的行为导向更积极、更富有生气。 相似文献