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温度对磁控溅射氮化钛薄膜光学性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用能量过滤磁控溅射技术(Energy Filter Direct Magnetron Sputtering,EFDMS),通过改变沉积温度在玻璃衬底上制备了一系列TiN薄膜.利用XRD进行了物相鉴定,使用分光光度计、椭圆偏振光谱仪和四探针电阻仪测试了TiN薄膜的光学性能.结果表明:制备的TiN薄膜为多晶态立方结构TiN,且随着衬底温度的升高,薄膜结晶性提高,在近红外区的反射率显著上升,可见光区的透光率有所下降,同时,薄膜的禁带宽度变宽,折射率减小,消光系数升高. 相似文献
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针对某些条件下目标径向速度无法直接测量的问题,讨论了如何利用雷达和GPS测量系统的测量数据间接求解目标径向速度。首先对雷达和GPS测量系统给出了一种基于距离一阶差分近似求解径向速度的方法,具有易于操作的优点,但在采样间隔较大时测量精度下降严重。接着,根据内积公式对GPS测量系统给出了一种与采样间隔无关的基于速度矢量求解径向速度的方法。该方法求解公式简洁、计算步骤简单、易于理解,解决了如何间接求指定点位的目标的径向速度的问题,具有一定的应用价值。 相似文献
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