静电马鞍场溅射离子泵在注入电子时的效果

本文继续探讨研制一种新型真空泵的可能性。利用静电马鞍场约束电子振荡并注入电子以扩展放电压强的下限。据此,研制的无磁静电型溅射离子泵,在未注入电子时,阴极小室内壁面,可清楚地看到,离子轰击面(即钛的溅射面)与钛膜沉积面,其状态与二极型 penning 泵相似;启动特性、对电源要求也与 penning 泵相似。硅油蒸汽对马鞍场约