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本文叙述高纯SiH4中痕量杂质的转化色谱分析条件,装置及流程。通过弱极性有机担体柱有效地将硅烷中ppm级杂质与主组份分离,分离后的主组份经氢气氛下高温还原和电石转化生成烃类,送FID高灵敏检测,当进样量为1毫升,记录仪为1毫伏(250毫米)时,本试验所得灵敏度;CO,0.15vpm/mm;CH4,0.08vpm/mm(j样品直接送FID检测灵敏度);CO2,0.5vpm/mm3H2O,0.3vpm/mm。同时确定了较满意的分析操作参数,提出了相应的分析流程。 相似文献
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