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用射频磁控溅射法在室温Si基片上制备了60.7~1545.0nm范围内不同厚度的MgF2薄膜,并用X射线衍射及激光干涉相移技术对不同厚度MgF2薄膜微结构和应力分布进行了测试分析。结构分析表明:制备的MgF2薄膜呈多晶状态,仍为四方结构;随膜厚由420.0nm增加到1545.0nm,膜的平均晶粒尺寸由3.2tim逐渐增大到14.5nnl。应力研究表明:所制备的MgF2薄膜在Ф≠30mm选区内全场平均应力均表现为张应力;随膜厚增加,MgR薄膜中的平均应力值起始时呈近似线性缓慢减小,当膜厚大于1200nm时,其选区平均应力及应力差基本趋于稳定。 相似文献
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采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法沉积本征非晶硅薄膜,研究了热丝电流对薄膜结构及其钝化单晶硅片效果的影响.采用光谱型椭偏仪分析了非晶硅薄膜的介电常数虚部ε2和薄膜空位浓度的变化,采用傅里叶红外光谱测试仪分析了膜中Si-HX键,使用硅片的少子寿命表征钝化效果.结果表明:在热丝电流(两根直径为0.5 mm的钽丝的总电流)为20.5~23.5 A时,随着热丝电流增大薄膜中空位浓度逐渐增大,薄膜中氢总含量在热丝电流约22.0 A时出现峰值,而此时薄膜微观结构参数R*最小,钝化效果在约21.5A处出现峰值,对应的表面复合速率低至2.9 cm/s. 相似文献
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琼东南-珠江口盆地深水区构造样式及其分布特征 总被引:2,自引:0,他引:2
南海区域构造运动复杂,对其北部深水区的构造样式及分类标准尚缺乏全面、系统的研究。为此,以该区琼东南-珠江口盆地为重点研究对象,基于区域地震反射资料,结合盆地的结构特征,分析、总结了深水区构造样式和分布特征。结果表明:①根据构造样式形成的动力学机制,可以将琼东南-珠江口盆地深水区划分为伸展构造样式、走滑构造样式与重力构造样式3类;②伸展构造样式可继续划分为地堑式、平面式半地堑、铲式半地堑及坡坪式半地堑;走滑构造样式主要表现为剖面上的花状构造、平面上的雁列断层及马尾状断层等;重力构造样式表现形式多样,既有以侧向滑动为主要特征的滚动背斜、重力滑动断层,也有以垂向运动为主的垮塌构造、底辟构造;③上述3类构造样式分布于盆地的3个构造层中,与盆地演化过程中所表现出的动力学机制密切相关。伸展构造主要分布于盆地的下构造层(裂陷期盆地);走滑构造分布于中下构造层(裂陷期盆地-裂陷后坳陷期盆地);重力构造样式分布广泛,在盆地深层-浅层均有分布,但表现形式不同。这些成果与认识对该区后续勘探开发具有十分重要的意义。 相似文献
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琼东南盆地崖城组煤的沉积学特征与聚煤模式 总被引:7,自引:0,他引:7
对琼东南盆地钻井、岩心、测井、构造形态等资料进行了系统分析,阐述了琼东南盆地崖城组成煤作用、成煤环境及成煤模式。崖城组的成煤作用主要为凝胶化作用;煤层多发育在辫状河三角洲平原泥炭沼泽环境和潮坪的潮间带上部、潮上带泥炭沼泽环境;主要的成煤沉积体系在崖城组早期主要为辫状河三角洲体系,在崖城组中、晚期主要为潮坪—泻湖体系。在综合研究各种影响成煤作用因素的基础上,从沉积环境和构造形态角度建立了6种主要的聚煤模式,即冲积扇扇前和辫状河三角洲平原聚煤模式、泻湖—潮坪聚煤模式、浅海周缘扇三角洲和滨海带聚煤模式、深水半地堑凹陷聚煤模式、浅水半地堑凹陷聚煤模式、深水地堑凹陷聚煤模式。 相似文献
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在1673K下,应用Fe_2O_3-MnO_2熔剂对高炉锰铁熔体进行了预脱硅的实验研究。研究了Fe_2O_3与MnO_2的配比和添加CaO对脱硅保锰的影响。结果表明:当熔剂用量为合金量的5%时,可获得70%的脱硅率,并对锰的氧化有所抑制。分析了脱硅保锰的热力学条件和工艺条件。 相似文献
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为了探讨提钒脱硅同时进行的可能性,本文采用FeO—SiO_2熔剂处理含钒铁水,对钒,硅、碳、磷的氧化行为进行了研究。并对铁水中的初始硅含量,终渣中的氧化铁和二氧化硅之比对提钒的影响,提钒保碳等问题进行了讨论。结果表明,当[Si%]。=~0.4[V%]。=~0.3时,提钒脱硅可以同时进行,硅对钒的氧化没有明显的抑制作用,提钒率达92%。提钒率和钒分配比均随终渣中(FeO)/(SiO_2)的增加而增加,当(FeO)/(SiO_2)≈3.8时,η=93%,I_4v=537.67。采用本实验方法,提钒保碳是可能的。 相似文献