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本文采用P型单晶硅片,在三极电解槽中,进行了电化学深刻蚀的探索性实验.对湿法刻蚀和电化学刻蚀中的工艺问题进行了初步的理论和实验研究,同时,采用SEM对实验样品进行了形貌分析,并采用电流突破模型对电化学深孔刻蚀机理进行了理论分析.通过理论和实验研究,发现即使硅片晶向不准,仍能刻蚀出方孔列阵.其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义,在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时,可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术. 相似文献
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准确的命名实体识别是结构化电子病历的基础, 对于电子病历规范化编写有着重要的作用, 而现今的分词工具对于专业的医疗术语无法做到完全正确的区分, 使得结构化电子病历难以实现. 针对医疗实体识别中出现的问题, 本文提出了一种在命名实体识别领域中改进的BiLSTM-CRF深度学习模型. 模型将文字和标签结合作为输入, 在多头注意力机制中使模型关注更多的有用信息, BiLSTM对输入进行特征提取, 得到每个文字在所有标签上的概率, CRF在训练过程中学习到数据集中的约束, 进行解码时可以提高结果的准确率. 实验使用人工标注的1000份电子病历作为数据集, 使用BIO标注方式. 从测试集的结果来看, 相对于传统的BiLSTM-CRF模型, 该模型在实体类别上的F1值提升了3%–11%, 验证了该模型在医疗命名实体识别中的有效性. 相似文献
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从工程设计的角度,简析了混凝土温度收缩裂缝的成因和基本特点,提出了防止和减轻超长混凝土结构温度收缩裂缝的设计措施. 相似文献
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预测宫颈癌的诊疗项目是辅助医生诊疗的重要手段,文中针对宫颈癌患者住院数据的复杂性以及现有时间序列预测技术的不足,提出了创新性的诊疗过程规范化判断的两段式预测模型Bi-GRU-DT,同时对比验证了GRU-2、Bi-GRU、GRU-2-DT、FL-LSTM、Phased LSTM、AMNN的模型性能.具体而言,首先用加权池化的方式对住院数据进行处理,用Skip-gram算法将处理后的数据表示成向量;然后,利用二分K-means算法挖掘规范的诊疗模式,利用基于Bi-GRU的循环神经网络构建诊疗项目预测模型.在预测未来诊疗项目前,首先对诊疗过程进行规范化判断,并将相邻诊疗日的时间间隔融入到输入数据中.实验结果表明,相较于未规范化判断的情况下,模型的召回率和平均准确率分别提高了6.4%和5.3%. 相似文献
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介质多层膜热处理分析 总被引:1,自引:1,他引:0
由薄膜压缩应力产生模型和薄膜总应力的组成出发,分析了要改变薄膜的本征应力热处理必须有足够的能量即激活能。当热处理能量低于激活能时,只能改变薄膜热应力,与处理时间无关。热应力与处理温度有线性关系,建立了波长变化量与温度变化量间的关系模型。当热处理能量高于激活能时,本征应力改变,进而波长的改变与时间有关。实验结果表明,从200~300℃的各1,2,5 h保温处理下,波长从1.4 nm线性地增大到4.15 nm,波长变化与处理时间无关。在350℃分别进行1,2,5 h的处理情况下,波长的改变量分别为4.75 nm,5.07 nm,5.7 nm。保温时间短的,波长增量也小。400℃各种处理时,波长的改变基本上与350℃的处理结果类似。充分说明了在较低温度处理时,薄膜应力只有热应力的改变;较高温度处理时,本征应力才会改变。 相似文献
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蜗舌是离心通风机重要部位之一,为研究蜗舌型式对离心通风机振动噪声的影响,本文对某型离心通风机进行气动激励的计算仿真。通过定常计算,发现蜗舌结构型式的改进能够改善局部区域的漩涡,减小诱发振动的激励因素;通过非定常计算,发现蜗舌结构型式的改进对离心通风机气动激励的影响主要体现在局部区域压力脉动的改善,尤其是叶轮出口气流激发的叶频脉动的降低。根据计算分析结果对通风机振动噪声变化进行了预估,试验结果表明,蜗舌结构的改进能够降低通风机振动噪声,气动激励数值分析可为通风机低噪声改进效果提供判断依据。 相似文献
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