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研究了金刚石膜内晶粒尺寸和取向程度对金刚石膜热导率的影响。通过对衬底表面进行不同研磨时间的处理和适当的工艺条件,采用灯丝热解化学气相沉积(HFCVD)的方法在单晶硅衬底上形成了具有不同晶粒尺寸和不同程度(100)晶面取向的金刚石膜,并研究了其热导率。结果表明,由大晶粒和较高程度(100)晶面取向的晶粒构成的金刚石膜具有热导率特性。 相似文献
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多孔阳极氧化铝的孔径大小及其均匀性可通过扩孔进行改善。本文以3wt%磷酸作为刻蚀液,在实现PAA孔径扩大的同时,我们详细研究了三维状况下孔径形态的实时演变过程,发现PAA孔加宽在表面和截面两个方向上同时进行。在表面扩孔研究中,磷酸逐层蚀刻PAA内壁多层结构,随着扩孔时间的增加,扩孔速率不同。在截面研究中,当扩孔时间达到某一定值,由于扩孔速率不同,PAA顶部的扩孔过程较底部的扩孔过程相对较早完成,随后顶部扩孔速率逐渐降低,底部扩孔速率逐渐增加,当扩孔完成时,形成均一性良好的理想圆形小孔。同时,我们研究发现,过度增大扩孔时间,PAA基元结构将被破坏,并由于高纵横比形成纳米线,随后被刻蚀溶液腐蚀。这是首次通过实验对PAA扩孔机理在截面方向的演化过程进行研究。本文详细阐明三维PAA的实时扩孔机制,结合多层结构对机理进一步解释,对PAA薄膜的可控制备和扩孔机理的精准研究是很有意义的。 相似文献
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金刚石膜的性质,应用及国内外研究现状 总被引:24,自引:1,他引:23
重点介绍了金刚石膜的性质,应用领域及目前国内外研究现状。 相似文献
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传统的金属氧化物气敏元件因存在加热功率高、分散性大等不足之处而不够理想,若以L—B膜作为气敏功能膜就可避免以上缺点,但L—B材料的电导率较低,精确测量其 相似文献
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提出了“自上而下”制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌。这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。 相似文献
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目前,陶瓷湿敏元件和高分子薄膜湿敏元件都存在一定的缺陷。为此,我们想利用新的材料及新的工艺来制作一种全新的湿度传感器,使它既具有陶瓷传感器能在高湿下使用的特点,又具有高分子薄膜传感器性能稳定、响应快等特点,并可改进工艺重复性不好的普遍性问题。LB膜是有机高分子材料有序组成的单分子层或多分子层厚的超薄膜,利用其制作技术使上面的想法有可能成为现实。 相似文献
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