神经网络在高性能交流传动控制中的应用趋势

本文首先对神经网络在高性能交流传动控制中的应用现状进行了总结 ,分析了神经网络在交流传动控制中的发展趋势 ,同时 ,论述了神经网络的实现技术。最后 ,对神经网络的未来应用进行了展望。     

神经网络在高性能交流传动控制中的应用趋势

本文首先对神经网络在高性能交流传动控制中的应用现状进行了总结，分析了神经网络在交流传动控制中的发展趋势，同时，论述了神经网络的实现技术。最后，对神经网络的未来应用进行了展望。     

用于光刻装置的多光栅标记对准系统

提出了一种用于光刻装置的Si片-工件台对准系统。该对准系统采用多光栅对准标记,标记的每个方向有序排列着四个子光栅。对准时,单波长对准光束照射在标记上,各级衍射光以不同的衍射角反射出。通过空间滤波器,零级和高级衍射光被滤除,而±1级衍射光被保留并相干涉成像在参考光栅的表面。两个较大周期子光栅的对准信号用于对准标记的捕获和粗对准,两个较小周期子光栅的对准信号用于获得粗对准基础上的精确对准。由于该对准系统无须采用楔板组,与ATHENA对准技术相比,降低了制造成本,提高了工程的可实现性。