纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究

本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风，采用了硅微机械技术，且实现了麦克风电容两电极之间的自对准，大大提高了麦克风的生产效率，降低了成本．纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用，而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加，这些都显著地提高了麦克风的灵敏度，是该项新结构的关键．本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系，及结构的优化进行了研究．通过对制作出的不同结构参数ｑ值的麦克风的测试，得到了与初步理论分析基本相符的实验结果．实验证明，纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风     

青岛引进天然气以后的供热方式探讨

阐述了当前青岛市城市供热的状况.通过对不同能源供热的技术经济比较和对天然气的特性以及国内外开发应用情况的分析,结合青岛天然气规划状况,认为青岛市采用天然气是一种适宜的供热方式.     

青岛引进天然气以后的供热方式探讨

阐述了当前青岛市城市供热的状况．通过对不同能源供热的技术经济比较和对天然气的特性以及国内外开发应用情况的分析，结合青岛天然气规划状况，认为青岛市采用天然气是一种适宜的供热方式．     

超低温冻结制冷采用双级压缩制冷循环的容积比变化

超低温冻结制冷系统采用的双级压缩制冷循环，其容积比、能效比以及各相关参数的调整直接影响制冷系统的区别效率。文章从理论分析出发，结合实际生产中的调整方案，希望能为超低温双级制冷压缩循环系统的运用提供一些依据。     

微机械薄膜低应力工艺及技术的研究

本文研究了硅表面微机械加工薄膜的形成工艺及技术。通过调整各种薄膜生长、掺杂以及退火的条件，得到了较低的薄膜残余应力（ＬＰＣＶＤ多晶硅膜３０ＭＰａ压应力，ＬＰＣＶＤ富硅氮化硅帮ＰＥＣＶＤ氮化硅膜约１００ＭＰａ张应力，Ａｌ膜在３０ＭＰａ范围内由压应力到张应力变化）。另外，采用了复合膜和纹膜技术，用于大幅度地降低薄膜应力，取得了预计的结果。     

双区厌氧反应器的开发与试验研究

设计了双区厌氧反应器:下部污泥膨胀区在强水力作用下,消除了UASB的配水问题,加强了传质和预处理能力,刺激了厌氧微生物的生长和颗粒化进程;上部精处理区颗粒污泥生长条件好.实现了2.3倍的UASB反应器容积负荷.现场毒性试验表明:双区厌氧反应器比IC反应器受毒恢复更快.     

双区厌氧反应器的开发与试验研究

设计了双区厌氧反应器：下部污泥膨胀区在强水力作用下，消除了UASB的配水问题，加强了传质和预处理能力，刺激了厌氧微生物的生长和颗粒化进程；上部精处理区颗粒污泥生长条件好．实现了2．3倍的UASB反应器容积负荷．现场毒性试验表明：双区厌氧反应器比IC反应器受毒恢复更快．     

一种新结构微型硅电容式麦克风的研制

本文提出一种新型的微型硅电容式麦克风结构及制造方法：单硅片纹膜结构及制造方法，首次实现了纹膜麦克风的制作，对这种结构的麦克风进行了初步设计并制造了一系列结构尺寸的微麦克风。实现了麦克风电容两极板有效区域的自对准。     

微机械梁内应力测量方法的研究

本文提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法：阈值电压法和长梁挠曲法．对两种方法进行了理论分析与实验验证，并与已有的应力测量方法进行了对比，取得了吻合的结果．这两种方法测试非常简单，且可实现薄膜内应力的＂片内＂检测．其中，阈值电压法既能测膜的张、压应力，也能提取材料的弹性模量，这使它成为一种非常有吸引力的应力测量方法．