组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究

建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置,研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺,对得到的结果进行了分析和讨论。     

激光曝光新技术述评

本文评述了使用激光进行微细加工(曝光和制作掩模)的某些新技术。     

几种微机械系统组装技术

简要讨论了微机械系统的三种组装技术，即玻璃吸附针尖，微夹钳和具有人手功能和微机械手，把第一，第二种技术有机结合是满足目前微机械系统组装需求的有效捷径。     

尘埃粒子的半导体激光散射测量

以半导体激光为光源 ,建立了一个可以实时测量空气中尘埃粒子的尺寸与颗粒数浓度的光学系统。根据Mie散射理论 ,计算了该光学系统的光散射响应特性。实验结果表明 ,该系统具有高的计数准确度、计数效率和计数重复性 ,适用于洁净度检测和环境空气中尘埃粒子的粒径分布测量。     

红宝石激光辐射在非相对论电子束上的散射

本文报导激光在具有能量为2~3千电子伏、电子密度为5×10⁹~2×10¹⁰/厘米3、直径为1亳米的非相对论电子束散射方面的工作结果。为记录散射辐射使用了光子计数和示波法。实验上获得了散射辐射的波长与电子能量的依赖关系、确定了散射辐射偏振方向、测得了电子在电子束截面上的密度分布。     

激光全息用于微电子领域发展潜力的简析

激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点,对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。     

光学粉尘浓度测量仪响应特性曲线的计算与分析

根据 Mie散射理论计算了 5种光学粉尘浓度测量仪的光散射响应特性曲线 ,对照呼吸性粉尘在人体呼吸道中的沉降效率曲线 ,对这些光学粉尘浓度测量仪的响应特性进行了分析。得出的结论是 :采用近前向型光散射结构、多波长照明光源和大孔径散射光收集系统的光学粉尘浓度测量仪 ,其响应特性曲线更接近于人体对呼吸性粉尘的采集效率     

微机械构件组装技术研究

从取放微机械构件的方式,对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究,并用所设计的组装装置进行了组装实验,得到了满意的结果。