用白光空间滤波系统检查IC掩模缺陷

本文介绍一种使用空间滤波的实时单一镜头白光信息处理系统来检查IC光刻掩模缺陷的方法。采用这种方法比传统的镜检法或激光相干处理技术更为简单、快速,且效果明显。它能明显地检查出IC掩模里的黑点、针孔、刻痕、电路缺损、短路和断路等微小缺陷,并可检测出最小线度为2μm的缺陷。     

一种显示位相体三维位相分布的彩虹全息法

本文提出一种利用简单一步彩虹全息术显示位相体三维位相分布的新方法．文中对两次曝光记录和显示位相体的原理进行了理论分析，计算了彩虹全息图狭缝实象的位置．并讨论多次曝光获得假彩色编码象的可能性．理论分析和实验结果是一致的．