铜绿山铜铁矿二期工程回顾

铜绿山铜铁矿二期工程建设从1985年正式开工,经历了初步设计中大露天开采项目的建设和修改初步设计中的井下开采项目的建设,历时14年,至1998年建成试生产。投产10多年来,矿山生产经营成果相当可观:1998～2010年铜绿山矿共完成采矿量1089.75万,t生产矿山铜151591,t为铜绿山矿的持续稳定发展发挥了积极作用。     

高分辨率投影光刻机光瞳整形技术

在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结。