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1.
本文描述了用自对准工艺制各自对准结构的α-Si:HTFT。从理论上分析了有源层α-Si:H的厚度对α-Si:HTFT特性的影响,据此提出一种新型的双有源层结构的α-SiTFT。它可以有效地提高自对准α-Si:HTFT的开态I_(ON),其通断电流比I_(ON)/I_(OFF)>10 ̄5。  相似文献   
2.
本文提出了一种通过外接电容的耦和电压推算出晶体管特性的矩阵器件测试方法。利用本系统可以对晶体管进行逐个扫描,并推算出缺陷的类型和分布、矩阵板的均匀性及器件特性。同时文中引入了统计分析以确定标准值的范围。  相似文献   
3.
本文研究了3英寸372×276象素a—Si TFT有源矩阵的优化设计理论,讨论了材料物理参数和器件结构参数对器件性能的影响,并对其制作工艺进行了系统研究。  相似文献   
4.
研究了7.5cm372×276象素a-SiTFT有源矩阵的优化设计理论,讨论了材料物理参数和器件结构参数时器件性能的影响,并对其制作工艺进行了系统研究。  相似文献   
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