准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究

为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。     

蒸发冷却空调机组在乌鲁瓦提水电厂的应用

通过对乌鲁瓦提水电厂蒸发冷却空调机组的原理、结构的分析，阐述蒸发冷却空调机组具有绿色环保、节能、成本低等特点，并介绍蒸发冷却空调机组在夏季、冬季的运行模式，AI控制器控制方式及上位机实时控制方式。     

管理自动化在乌鲁瓦提水利枢纽的应用

乌鲁瓦提水利枢纽工程管理自动化系统工程由调度中心计算机网络、水情测报、大坝安全监测、闸门监控、水电厂监测、图像监控和办公自动化等7个部分组成，文中介绍了各个子系统的构成及相互关系。     

外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响研究

激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺。为了研究外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响,本文采用248nm KrF准分子激光作为光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极半导体n—Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,详细分析外加电压对刻蚀工艺的影响,并对其产生的原因进行了分析。试验结果表明其影响主要有两个方面：（1）正的外加电压保证了SiO2钝化膜生成,从而实现了选择性刻蚀;（2）外加电压的增大,刻蚀速率会相应减小。因而外加电压也是调节刻蚀速率的一个重要的手段。     

激光诱导湿刻在微结构加工中的应用

介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。     

新疆乌鲁瓦提水利枢纽工程综合自动化系统改造方案设计

简要介绍新疆乌鲁瓦提水利枢纽综合自动化系统的现状和改造需求,叙述其中的计算机网络、水情测报、大坝安全监测、闸门监控、视频图像监控、办公自动化等子系统的改造方案设计。方案综合运用遥测、遥控、遥信及计算机网络等先进技术,确保改造后的综合自动化系统实用、先进、安全、可靠。该方案对大中型水利枢纽综合自动化系统的设计、实施及改造具有一定的参考价值。     

电解液对准分子电化学刻蚀硅的影响研究

激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺.为了研究电.解兰对激光电化学刎蚀硅的影响,本文采用248nm KrF准分子激光作为光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极半导体n-Si上实现激光诱导电化学刻蚀.在实验的基础上,研究了经学溶液对激光电化学蚀Si的雇刻蚀速率的影响,并对其产生的原因进行了分析.试验结果表明:化学溶液对刻蚀工艺的影响主要采辣于小同浓度的溶液对激光的吸收和折射;采用吸收率较小、浓度较低的溶液和控制液膜厚度能有效减小溶液飞溅和溶液折射.本文中,溶液的厚度控制在1mm左右.     

乌鲁瓦提水电厂水机部分抗磨蚀处理

影响新疆地区水电站安全运行的一个最主要的原因就是转轮的汽蚀和锈蚀.新疆地区河流多为季节性河流,夏于多为融雪形成的高含沙量河流.水流对转轮和蜗壳的磨损很大,往往无法支撑一个大修周期.位于新疆和田地区的乌鲁瓦提水电厂采用不锈钢焊条对转轮进行补焊,以解决汽蚀问题,采用改性聚氨酯弹性涂料,可有效解决锈蚀问题.     

准分子激光增强金属电化学刻蚀特性实验研究

采用248nm KrF准分子激光照射电化学刻蚀中的金属阳极,记录过程中阳极电流的变化,对不同金属的阳极电流 曲线进行对比分析,发现在激光作用的时间内,阳极电流显著增大,激光作用过后,阳极电流迅速减小,而且脉冲频率越高阳 极电流增加的幅度越大,不同的金属阳极电流曲线有所不同,这反映准分子激光对不同金属电化学特性的增强有所差别。     

乌鲁瓦提水电厂#4机组水导异常分析与处理

1　电厂基本情况乌鲁瓦提水电厂位于新疆和田县境内和田河西支流———喀拉喀什河中游,水库库容 3 47亿m3,厂房为坝后式,电厂总装机容量 4×15MW,年发电量 1 97亿kW·h.机组参数:水轮机型号为HLJF2511 LJ 1620;发电机型号为SF15 14 /3250;最高水头 106m,设计水头76m,最低水头 58m;额定转速 428 6r/min.水导部分基本情况:电厂 4台机组水导均为稀油润滑筒式轴承,轴承内径450,除#3机组水导轴瓦已更换为塑料瓦外,其于均为巴氏合金瓦. 水导由导轴承、上油盆、下油盆 (旋转油盆 )、冷却器等组成,冷却方式为油循环水冷.机组运行情况:电厂于 …