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利用真空技术,低能离子束刻蚀技术和射频磁控溅射相结合组成的低温等离子复合技术,在软磁材料表面获得了性能优良,且满足工业生产要求的Al2O3绝缘膜,本文介绍了复合技术成膜装置特点及该Al2O3膜的特点,利用的扫描电子显微镜,透射电镜及X射线光电子能谱仪对该膜进行了分析,试验结果认为该膜的物理特性,电学特性及机械特性是优异的,对于该膜的半工业性试验也进行了研究。 相似文献
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1 前言目前大部分金刚石工具及其制品都是由金刚石与各种各样的金属结合剂经加压成型和加热烧结而成的。显然金刚石和结合剂的性质对工具的效率和寿命有很大的影响。为此 ,人们作了不少的研究。但是 ,金刚石工具中的结合剂对金刚石颗粒的把持力或结合强度对工具的磨削效率和使用寿命无疑起决定作用。为了达到强力的结合而采用的方法很多 ,例如改变结合剂的成份和比例 ,金刚石表面的金属化 ,对结合剂进行氢还原和真空烧结等等。其中最常用的方法就是在真空中为金刚石表面镀上一层有一定厚度的金属膜 ,如Ti、Cu等 ,或化学方法镀附金属 ,… 相似文献
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低能离子束沉积类金刚石膜的结构及性能研究 总被引:3,自引:0,他引:3
研究了利用低能离子束技术,在单晶硅片等多种基体表面形成类金刚石薄膜(DLC膜)。利用透射电镜、X射线光电子能谱及拉曼光谱等分析手段对该膜进行了显微结构分析,发现类金刚石膜是含有金刚石及其它碳相的混合碳膜。对该膜性能测试表明,该膜类似金刚石的性能,其光学、电学、机械及化学性质优异。探讨了类金刚石膜生长的机理,对类金刚石膜的一些可能的应用进行了研究。 相似文献
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本文研究离子束混层对2Cr13不锈钢耐蚀性的影响,探索该技术实际应用的可能性。实验方法实验材料采用工业生产的2Cr13钢,化学成分见表1。 相似文献