版图设计中提高器件可靠性的措施

本文总结了在版图设计中如何提高器件可靠性的一些具体措施。     

EM-5009b激光图形发生器漏曝和曝光移位现象研究

针对EM-5009b激光图形发生器出现漏曝、曝光移位问题，通过实验和分析。总结了产生漏曝、曝光移位现象的一些原因。     

基于SOI硅片高g值加速度计的设计与分析

基于SOI硅片,设计了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用三梁一扇形质量决平板内振动结构,与传统的平面外振动结构相比较,该结构具有较高的谐振频率与灵敏度。采用两两相对的单元布局方式,可有效的消除横向灵敏度的影响,提高结构的测量精度。建立理论模型并利用ANSYS软件对结构进行模拟分析与验证。分析表明,加速度计在X轴向、Y轴向灵敏度分别为1.2μv／g、1.18μv／g;谐振频率分别为479KHz、475KHz。可实现对量程高达25万g加速度的测量。     

集成电路制造中图形缺陷分析与控制

本文通过分析集成电路制造过程中引起的各种缺陷，总结了加工中缺陷产生的原因及其控制方法。     

ActiveX控件在Intranet开发中的应用

ＡｃｔｉｖｅＸ控件在 Ｉｎｔｒａｎｅｔ环境中的一种巧妙应用──在客户端以局域网内网络路径的形式注册服务器端ＡｃｔｉｖｅＸ控件。