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学科分类

工业技术

1篇

出版年

2001年

1篇

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溶胶—凝胶法制备掺镧钛酸铋铁电薄膜 总被引：3，自引：0，他引：3

喻驰朱建国肖定全袁小武朱基亮乐夕《压电与声光》2001,23(2):138-141

利用溶胶-凝胶法在Si（100）及Pt/Ti/Si（100）衬底上制备了Bi3.5La0.5Ti3O12(BLT-5）铁电薄膜,研究了在不同退火条件下BLT-5薄膜的结晶性能。经650℃、30min退火处理的BLT-5铁电薄膜的矫顽场Et=67kV/cm,剩余极化强度Pt=11.2μC/cm∧2,BLT-5铁电薄膜呈现较好的抗疲劳特性,可望用于制备高容量铁电随机存取存储器。相似文献