应用电压衬度法对集成运算放大器进行失效分析

随着电子设备的日益复杂,对电子元件的可靠性要求也愈来愈高。特别是那些用于恶劣环境的空间电子设备,可靠性更是不可忽视的问题。 FC-54是一种低功耗高增益双极型运算放大器,用途广泛。但由于一些工艺问题,如单电极钨丝蒸铝工艺,硅片在镀膜室中又不旋转,造成了铝膜在跨越各种台阶时的“阴影”。这部分铝膜很薄而脆弱,在进行铝线反刻时,很容易受到腐蚀剂的侵蚀,造成开路。即使没有完全断开的铝膜,在经过高温功率老化和较长时间的工作,也将造成开路,使器件的可靠性大大降低。为了早期判断和分析器件的失效原因。我们采用了扫描电镜电压衬度法作为分析手段,特别是对铝膜的失效分析,显示了良好的优越性。因为,运用机械探针对芯片进行电参数的测试,不可避免地会给芯片带     

扫描电镜动态偏置电压衬度法

目前,越来越多的扫描电镜被用于半导体工业生产中的工艺监控和质量检查。扫描电镜的电压衬度技术则是扫描电镜的独特方法,日益引起人们的重视。按试样的偏置电压的状态来分类,电压衬度方法则可分为二大类:静态偏置电压衬度法和动态偏置电压衬度法。前者是对试样施加一个相对不变的偏置电压(即直流电压);而后者则是对试样施加一个动态偏置电压(即     

科学与艺术-电子显微镜图像欣赏

照片是电子显微镜的主要记录手段。它是科学试验的证据，是工作历程的记载，是我们前进的足迹，同时，它是历史上、时空上凝固的美丽瞬间。因此，照片作为一种记录载体，它首先是艺术的，在它的艺术外壳中，包含着科学的内涵。     

硅传感器反应离子刻蚀的观察

六十年代发展起来的微电子技术,已大大影响了人类社会的面貌,而由微电子技术与机械学相互交叉而诞生的微机械技术,正成为一项新的产业。微电子技术以硅的平面加工技术为主,其制造工艺一般在表面几十微米以内。而微机械的厚度(或深度)往往达到几百微米,因此,必须研究硅的深加工技术以适应微机械的需求。本文以制作一种以玻璃为衬底的单晶硅叉指电容式加速度传感器为目的,开展了离子刻蚀技术的研究[1]。硅的反应离子刻蚀是一个复杂的辉光放电等离子体物理一化学作用过程。该技术早期存在刻蚀速率低,不能获得高的深宽比,掩膜选择比不高等技术障…     

新型背散射电子探测器的应用

新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm~2的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年来,针对低原子序数,表面平坦的样品,其分辨率不高的缺点,又推出了适于超低压观察的低电压背散射电子探测器。因此,在扫描电子显微镜中得到广泛的应用。新型背散射电子探测器与其它类型的背散射电子探测器相比,其获得的图象有以下特点:一、具有与二次电子图象相当的空间分辨率——3nm。     

DX—3型扫描电镜整机故障分类及可靠性分析

DX—3型扫描电镜是中国科学院北京科仪厂生产的国内第一批扫描电镜,它的试制成功,在当时填补了国内空白,满足了国内许多科研及厂矿单位的急需。我所使用的DX—3型扫描电镜,是该厂第一批产品之一,从1976年9月安装到1982年5月调出,总计使用了近6年时间,观察了约8000个样品,拍摄了2万4千张照片,为我所的科研工作做出了巨大的贡献。现把该机发生的故障统计如下:见表1.目的是探讨扫描电镜的整机可靠性,为当前尚在使用该型号仪器的单位及生产厂家提供有益的信息。     

X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用

Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广泛的应用价值。ＰＺＴ薄膜与器件的制...     

KYKY－1000B扫描电镜使用中的几种特殊方法

ＫＹＫＹ－１０００Ｂ扫描电镜使用中的几种特殊方法唐圣明陈思琴（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）一、高压气源的代换ＫＹＫＹ－１０００Ｂ扫描电镜采用空气压缩机作为气动阀门的气源。当空压机损坏而又不能马上修复时，可采用瓶装高压氮气来代替。在钢瓶...     

空间电场的观察

空间电场的观察唐圣明，林绥娟，陈思琴（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）空间电场的分布与观察，是人们长期以来一直关注的问题。在透射电镜中，人们目前可以借助于电子全息术观察到粒子周围的空间电场及磁场的分布。在扫描电镜中，人们运用电压衬度技术，...