铜互连中SiCOF/a-C∶F双层低介电常数薄膜的制备和表征(英文)

用等离子体化学气相淀积系统制备了一种新颖的SiCOF/a-C∶F双层低介电常数介质薄膜,并用红外光谱表征了该薄膜的化学结构.通过测量介质的折射率发现该薄膜长时间暴露在空气中,其光频介电常数几乎不变.然而,随退火温度的增加,其光频介电常数则会减小.基于实验结果讨论了几种可能的机理.二次离子质谱分析表明在Al/a-C∶F/Si结构中F和C很容易扩散到Al中,但在Al/SiCOF/a-C∶F/Si结构中,则没有发现C的扩散,说明SiCOF充当了C扩散的阻挡层.分析还发现在SiCOF和a-C∶F之间没有明显的界面层.     

基于集成氮化硅微腔的光学传感芯片研究

近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点。利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4×103的悬空耦合传感器芯片,并详细研究了集成氮化硅微腔光学传感芯片在折射率测量方面的应用。     

原子层淀积制备金属氧化物薄膜研究进展

原子层淀积(ALD)技术作为一种先进的薄膜制备方法近年来越来越得到重视,它能精确地控制薄膜的厚度和组分,实现原子层级的生长,生长的薄膜具有很好的均匀性和保形性,因而在微电子和光电子等领域有广泛的应用前景。本文综述了ALD技术的基本原理,及其在金属氧化物薄膜制备上的研究进展。     

干法造粒机组提高产量的途径

1前言沉淀碳酸钡(BaCO_3)是制造各类钡盐及显像管、电容器、光学玻璃、橡胶、焊条、无线电元件等的原材料。BaCO3亦是我国化工产品中出口创汇的重要产品之一。因此,利用现有设备条件,提高BaCO3的产量成为相关企业提高市场份额的有效手段之一。2提高LBT辊轧式干法造粒机组产量的途径LBT型辊轧式造粒机组(如图1所示),是河北省石家庄市动力机械研究所借鉴日本技术研制的成套设备。广泛用于化工产品的造粒,尤其用于BaCO3、SrCO3的造粒。2.1安装圆筒筛过去有些厂家的造粒设备没安装圆筒筛,给螺旋加料机处带来麻烦。实际生产中,粉状产2.2…     

AIG预紧碟簧改善分剪机螺栓松动问题分析

介绍了预紧碟簧 (简称AIG)在轧钢厂分剪机上的应用 ,由于该设备螺栓预紧力的变化得到有效的补偿 ,从而解决了设备由于承受频繁的强烈冲击振动而导致无法正常生产的问题     

HKSFP-12500135硅锰电炉液压系统的故障分析

为了满足液压系统的工作高可靠性的要求,对油液的清洁也提出了更高的要求,本文通过分析硅锰电炉液压系统故障产生的原因及其产生的危害,从油液的合理使用方面提出了改进措施,减少了故障率,保证系统的正常运行.     

混合碳四选择加氢制1-丁烯工艺设计

根据裂解混合碳四选择加氢制丁烯工艺和催化剂评价研究结果,提出一种提高1-丁烯收率的加氢工艺流程设计方案。该工艺流程采用烃类蒸汽裂解装置所产混合碳四做原料,经过两段加氢反应器进行选择加氢,将混合碳四中的炔烃和1,3-丁二烯加氢生成富含1-丁烯的碳四物流。流程模拟计算结果表明,加氢后,1,3-丁二烯含量小于10×10^-6,1-丁烯选择性大于55%。     

原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展

原子层淀积(ALD)是一种先进的纳米级薄膜生长技术,在微电子和光电子领域有着广泛的应用前景,尤其在提高太阳电池的光电转换效率方面正发挥越来越大的作用,很可能成为下一代太阳电池工艺中的重要方法。文章综述了近年来ALD技术在太阳电池领域的应用研究进展,详细介绍了ALD技术应用在不同类型太阳电池的最新研究成果和存在的问题,并对其发展趋势进行了展望。     

振荡作用下气液两相流的流动特性

为研究高强化活塞冷却油腔内气液两相流的振荡流动结构对其强化传热效果的影响,对矩形空腔内气液两相流的振荡流动过程进行了实验研究。结果表明:气液两相流在起振阶段和充分振荡阶段的振荡流动规律有着明显的区别,起振阶段两相流以"爬壁"运动为主,而充分振荡阶段两相流则以"绕壁"运动为主;振荡频率主要影响两相流中气泡的状态和湍流强度,而填充率则主要影响两相流的流动形态和运动规律,在起振阶段振荡频率和填充率对起振阶段时长和最大气泡尺度的变化都有显著影响,而在充分振荡阶段,振荡频率对于气泡尺度的影响要明显高于填充率。     

浅析磁力密封技术的应用

通过旋转设备密封结构及密封效果的对比和对磁力机械密封原理、结构的分析，结合磁力机械密封的应用状况，介绍了其良好的密封效果和对传统密封的改造方案，并指出其良好的推广应用前景。