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集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表,支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点,在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的潜力。回顾了近些年来涌现的多种新型光刻技术,分析了各自的特征及在新型纳米电子、光子器件、能源、传感等领域中的应用。对未来光刻技术的发展方向进行了展望。  相似文献   
2.
通过对军用野战数字光端机机箱、印制电路板、电子元器件的抗振动、冲击能力的分析,得知机箱结构的强度、刚度还可进一步减小,从而为今后野战光端机的小型化、实用化探索出了一条有益的途径。  相似文献   
3.
1998年,天津市公安消防局为了深入贯彻执行《中华人民共和固消防法》。为了确保天津市重点要害单位的消防安全,制定了1000家无火灾单位的“三零”目标,是我们消防监督工作中头等重要工作。那么,在消防监督工作中如何做好这项工作呢,应从以下几方面入手:  相似文献   
4.
本文介绍用户电话光端机的屏蔽设计,主要涉及屏蔽问题的提出、屏蔽设想、结构与工艺措施、屏蔽效果的估算及系统测试结果等。  相似文献   
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