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学科分类
数理化   1篇
出版年
  2008年   1篇
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1.
一种微型光开关的设计与仿真分析   总被引：1，自引：1，他引：0  
介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析.运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系.当输入电流为75 mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02 mm,能够满足器件转换光路的要求.  相似文献   
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