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1
1.
Φ520mmF/1.6椭球面反射镜加工
总被引:1,自引:0,他引:1
李新南
袁吕军
刘星涛
夏自立
《光学技术》
2004,30(5):619-622
介绍了一块Φ520mm大相对孔径(F/1.6)轻量化椭球面反射镜的加工与检测方法。镜面的有效口径为Φ502mm,顶点曲率半径为1600mm,非球面系数k=-0.9663,面形精度要求优于0.025λ(RMS)。镜子背面有54个大小深浅不一的不通孔,用于减轻镜子的重量。采用WYKO干涉仪检测得到镜面面形误差达RMS0.02λ,λ=632.8nm。
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