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借助于基片下方放置的磁铁,在溅射的放电空间中引入了纵向的梯度磁场,辉光放电时,其外貌发生了显著的收缩,由此沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度,用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制。 相似文献
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