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粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏传感器 总被引:16,自引:0,他引:16
介绍粉末溅射研制的SnO2/CeO2酒敏薄膜的性能与膜厚、温度和掺杂量等关系的研究结果,并根据此结果对平面薄膜型敏感传感器的工艺和结构进行了设计;介绍了所研制器件的一些性能,并对有关问题进行了讨论。 相似文献
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平面薄膜型气敏传感器刘文利,李建明,吕红浪,裘南畹(山东工业大学济南250014)关键词薄膜;氧化锡;酒敏元件中图分类号TP212.21介绍用粉末浅射研制的SnO2/GeO2酒敏薄膜的性能与膜厚、掺杂量、温度等的关系.发现其最佳厚度在10-1~2×1... 相似文献
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本文介绍金属氧化物气敏特性研究的概况,以及我们最近完成的两个理论框架:(1)反应动力学理论;(2)扩散反应理论。 相似文献
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金属氧化物半导体气敏特性的研究裘南畹,李建明,刘文利,吕红浪(山东工业大学济南250014)关键词氧化物;半导体;气敏特性;振荡中图分类号TP212.2文章总结了笔者近7年来在研究金属氧化物半导体的电特性和气敏特性方面的实验工作。1次方定律和次方指数... 相似文献
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本文介绍金属氧化物气敏特性研究的概况,以及我们最近完成的两个理论框架:①反应动力学理论;②扩散反应理论. 相似文献
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本文从实验和理论上对用粉末溅射研制的SnO2/CeO2酒敏薄膜的性能与膜厚、温度、掺杂量等进行了研究,并根据研究的结果和有关理论对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行了设计;介绍了所研制的器件的一些性能. 相似文献
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GPRS技术在水量远程传输中的应用研究 总被引:1,自引:0,他引:1
文章介绍了GPRS的技术特点,分析了基于GPRS数传终端的无线水量远传系统的结构,给出了系统框图.细述了水量采集终端、GPRS数传终端、数据中心以及系统软件的设计方法和功能实现. 相似文献
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研究了气敏电导次方定律的指数和灵敏度随薄膜样品膜厚的变化、随温度的变化;气敏电导响应时间和恢复时间随膜厚的变化、随温度的变化;气敏电导振荡现象和规律. 相似文献
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本文从实验和理论上对用粉末溅射研制的SnO2/CeO2酒敏薄膜的性能与膜厚温度、掺杂量等进行了研究,并根据研究的结果和有关理论对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行了设计;介绍了所研制的器件的一些性能。 相似文献
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