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(续上期 )在DUV抗蚀剂中除第 1部分已介绍过的主体成膜高分子以外 ,产酸源、阻溶剂及其他一些添加剂也是抗蚀剂体系不可缺少的组分 ,对于抗蚀剂体系的成像性质有很大的影响。下面对其逐一进行介绍。2 2产酸源[72~ 73 ]产酸源是化学增幅抗蚀剂组成物中极为重要的组分。产酸源在DUV光的作用下产酸 ,催化曝光区树脂发生各种化学反应 ,形成潜影。在DUV光致抗蚀剂中的产酸源有 :硫盐、碘盐、三嗪类物质、磺酸酯类化合物、对甲苯磺酸衍生物、砜基重氮甲烷等。其中用得最多的是硫盐。通过研究可知 ,产酸源的结构、性质以及在体系中的含… 相似文献
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<正> 我国的钨钼资源极其丰富,开发钨钼在化工领域的应用,研制新的含钨钼的固体超强酸催化剂,是综合利用钨钼资源的一个方面。固体超强酸是指酸强度比100%硫酸的酸强度更强的固体酸。由于100%的 H_2SO_4的 H_o(哈默特函数)为-11.93,因此 H_o<-11.93的固体酸即为固体超强酸。用固 相似文献
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Gas-sensingPropertiesofSinteredBismuthIronTungstateHuXingding(胡兴定)(GeneralReseachInstituteforNon-ferrousMetals,Beijing100088,... 相似文献
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针对锚杆钻机存在的问题,选用基于欧姆龙PLC、人机界面及变频器的智能可视化方案对某型号锚杆钻机控制系统进行改造。通过对系统控制原理的分析,设计PLC端子接线图,最终完成PLC程序和人机界面设计。实验结果表明:改造后的锚杆钻机控制系统具有线路简单、可靠性好、运行效率高、日常维护方便等优势,可以有效提高矿井支护效率并降低人工劳动强度。 相似文献
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利用西门子S7—200PLC改造X62W型万能铣床控制系统,给出了改造后PLC控制的输入输出端子接线图、梯形图程序。实践证明改造后的铣床控制系统可靠、稳定,在生产实践中有着重要意义。 相似文献
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摘要:介绍了西门子S7-200系列PLC对C650车床控制系统的改造,给出改造后PLC的I/O端子接线图和梯形图程序,并分析了PLC控制的工作过程。实践证明改造后的车床控制系统可靠、稳定。 相似文献
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采用西门子S7—200系列可编程控制器(PLC)对M7120平面磨床的控制系统进行技术改造,设计了磨床的主电路、PLC的I/0端子接线图和梯形图程序。实践证明改造后的M7120平面磨床在实际生产中运行稳定,生产效率大大提高。 相似文献