热激励硅谐振式压力传感器的研制

介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术，设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器，给出了制作的工艺过程和参数，测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率一压力特性及幅频特性，其灵敏度达到54．89Hz／kPa，Q值大于20000，0～300kPa范围内线性相关系数为0．9997。     

建筑火灾中远程交互模式对寻路绩效的影响

火灾搜救团队在高层建筑火灾中信息交互手段受限且缺乏理论支持。本文根据空间信息的传递方式选取3种交互模式：1） 语音;2） 建筑平面图及规范语音;3） 视频。实地模拟高层建筑火场进行实验,记录并分析参试者逃生时间与路程。结果表明,在语言沟通方式下,逃生时间与逃生所走的总距离最长。在建筑平面图及语音沟通方式下,逃生时间与逃生所走的总距离最短。在动态环境下,建筑平面图及规范语音的交互模式使得寻路更高效且更准确。     

空间信息的呈现界面对建筑火灾中寻路行为的影响

为了提高危机救援过程中团体内部与外部的空间共享效率,结合建筑火灾的动态建筑结构变化与人类空间信息的认知表征、空间信息的交互方式,设计了两种空间信息界面:静态朝向信息一致信息界面;动态朝向信息一致信息界面,探究动态环境中不同朝向信息对于寻路绩效的影响。通过Unity3D软件模拟实际空间环境的动态变化,采集虚拟环境中内部人员的寻路行为,并通过录像与访谈分析建筑内外人员的交互行为。实验结果表明:1)静态信息界面下寻路时间与路径更短,寻路过程中的错误路径更少,但交互行为更多。2)动态信息界面下寻路时间与路径更长,寻路过程中交互行为更少,但错误路径更多。研究结果可以为消防救援队伍的内外协同提供支持,提升救援效率。     

热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统

利用正反馈闭环谐振原理,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路,并对该电路进行了综合调试.实验结果表明,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换,以及快速、准确采集压力数据的功能,采集频率范围为30～100kHz,频率采集精度为±1Hz,温度采集精度为0.03℃.     

一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器,器件由上下两硅片键合而成,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁,下硅片制作矩形压力膜.应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试.实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度.     

一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器，器件由上下两硅片键合而成，上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁，下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析，器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度。     

一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度     

非视觉条件下路径整合能力的影响因素研究

为了探究非视觉环境下,消防员在室内火灾搜救过程中路径整合能力的影响因素,设计实验模拟发生火灾的黑暗室内环境,分析对比小组人数、前进姿势和空间布局复杂程度对于消防员记录距离、方位的影响,提出优化的室内救援方式以提高消防人员在搜救过程中的安全和工作效率。研究结果表明,在简单的空间布局情况下,消防员通过团队协作并采用直立的前进姿势可以更安全高效地在黑暗环境中完成室内搜救任务。     

热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统

利用正反馈闭环谐振原理,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路,并对该电路进行了综合调试.实验结果表明,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换,以及快速、准确采集压力数据的功能,采集频率范围为30～10 0kHz ,频率采集精度为±1Hz,温度采集精度为0 0 3℃.