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扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。 相似文献
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城市景观格局反映城市不同要素、资源分布与组成方式,影响城市健康发展,探究城市景观格局的动态变化及驱动因素能为城市未来规划提供科学数据支撑。利用福建龙岩市多时段遥感影像,运用监督分类方法进行土地利用类型划分,通过景观转移矩阵、景观格局动态度、景观格局指数计算,提取动态变化信息,借助灰色关联度系数,对研究区域中驱动因子进行分析。结果表明:19年间,研究区域内建设用地不断扩张,农田和林地大面积转化为建设用地;优势景观林地依然呈现明显优势度,但呈下降趋势;整体景观格局破碎化增强且趋于均匀分布;人口数量和结构、城市规划和产业发展情况是主要驱动力,共同作用影响景观格局变化。针对现状提出策略:(1)严守耕地红线保护农田;(2)增加城镇区域绿色环境;(3)完善生态环境保护与修复。 相似文献