等离子辅助成膜技术

等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术,本文报道了等离子辅助源的性能指标,用这个源制造的ＴｉＯ２膜工艺与成膜质量,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺．     

等离子辅助成膜技术

等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术,报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标,用这个源制造的ＴｉＯ２ 膜工艺与成膜质量,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。