超声振动辅助抛光材料去除机理研究

超声振动辅助抛光是一种特种精密加工方法，其材料去除过程包含机械、物理、化学等多种因素，研究材料去除机理具有重要意义。对超声流场及超声流场作用下单颗磨粒对工件表面冲击作用进行仿真，分析超声流场作用下抛光过程的材料去除机理。仿真分析表明，在超声作用下，流场产生极强的横向剪切流，横向剪切流携裹着磨粒对工件表面产生冲击作用，从而实现材料去除。材料去除量与磨粒冲击角有关，磨粒冲击角越大，材料去除量越大。随着抛光的进行，工件表面逐渐趋于平整，磨粒冲击角也随之减小，逐渐趋于0°,此时不再有材料去除，工件抛光完成。