光栅副的间隙莫尔条纹

提出了间隙莫尔条纹的产生原理。推导出由光栅副间隙所产生的纵向莫尔条纹的计算公式及横向莫尔条纹的转角变化公式。拍摄了实验照片并验证用此法测定镜头焦距的精度。     

照射型莫尔轮廓法

莫尔等高图是莫尔轮廓图的一种特例。文中讨论了莫尔轮廓图的矢量表达式和作为第高图的条件,给出了几种特殊配置的莫尔轮廓图的实用公式,并附有实验数据。     

新的配置方式与曲面光栅——莫尔轮廓法灵敏度的再探讨

提出了二种新的配置方式。它可以成倍地增加测量深度,在要求的检测深度一定时,可由此提高测量灵敏度。应用曲面光栅可更多地增加测量深度,文中以柱面光栅为例,推出了计算公式,并用实验加以证实。所有上述方法都有实验照片,并与同样条件下的莫尔等高法作出比较。     

光学塑料的加工成型及其在光学零件制造中的应用

光学塑料有多种多样的成型方式,以致弥补了光学玻璃不易加工成特殊光学零件的缺陷。本文列举了用模塑法成型微透镜板等实例,同时亦讨论了用光学塑料崭新的成型方法——曝光成型制造步距精细的微透镜板等特殊光学零件。     

照射型莫尔轮廓法的灵敏度极限

文中推导出确定照射型莫尔轮廓法极限测量深度的计算公式。对于一定的测量深度,文中导出了可获得最高灵敏度时的配置尺寸;选用光栅的最小栅距以及能达到最高灵敏度的计算公式,最后以实验加以证实。     

一种原理新颖的平整度测试仪

本文介绍一种以作者提出的掠射式镜面莫尔轮廓法的原理为依据而设计的镜面平整度测试仪。文中介绍了基本的光学原理以及能产生很大的放大系数以至在全场可达到微米级精度的条件。解释了仪器的结构及利用此仪器检测不同面形试件时所特有的条纹形状。最后提供由该器所获得的球镜面及硅片的条纹照片。     

GP-1硅片平整度测试仪的性能特征

本文介绍以作者提出的镜面莫尔轮廓法的原理设计制造的平整度测试仪,各种典型镜面的条纹形状及其特征,解释了硅片平整度误差的判读方法以及在全场能达到微米级精度的检测步骤。     

提高照射型莫尔轮廓法的灵敏度

提出了四种特殊的测量方法,它们只是在测量步骤或配置方式上稍作改动,就可成倍地增测量深度,在要求的检测深度一定时,可由此提高测量灵敏度。用这些方法对同一只试件摄取了一系列莫尔等高图,最后比较了它们的优缺点。     

光栅的小间隙衍射及倍频效应

推导出光栅在平行光照射下,距光栅出射面的间隙为z(泰泊距离内)处的光强分布函数。通过计算机绘制出不同间隙处的光能分布曲线。发现间隙在P~2/2λ处的“倍频”效应。找到了光栅开口比为0.3左右时的最佳“倍频”效果。所有上述结论都有实验加以证实。