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¥光明化工研究设计院@蒋仲先1问题提出具有各种特殊性能要求的气体,如电子气、石油化工气和标准气等在国民经济各个行业有着广泛的用途,这些气体的开发研制是确保和推进高科技发展的重要组成部分。以集成电路用气(电子气)为例,目前国际上集成度已达256K(1K表示1... 相似文献
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(2)流量控制阀该阀主要用于控制分析检测仪器上的流量,如稳定色谱仪的载气流量,其工作原理见图7。进口压力P_1(P_2)是稳定的,当P_3变化时,随着压差的变化,膜片带动阀瓣上下运动,从而保持出口流量不变。 相似文献
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阐述了吹洗系统在特种气体贮存、输送、使用过程中的重要性,介绍了稀释和置换两种吹洗方法,操作步骤、优缺点对比及其国内外现状。并对今后的发展提出了建议。 相似文献
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