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离子束微制作技术对甚大规模集成电路、超大规模集成电路或者未来量子效应器件的制作由于其独特性能而越来越起重要的作用。并且它具有广泛的用途,包括蚀刻、沉积、掺杂、材料合成和改性以及平印术。对于蚀刻,需要具有原子标度的精密度和最低的损伤诱发的技术。本文讨论了低能离子束的重要性及其新蚀刻技术,比如数字蚀刻的特性。  相似文献   
3.
采用二乙基三胺五乙酸(DTPA)浸提石灰性土壤样品中有效态Cu、Zn、Fe、Mn后,样品溶液基体盐分较大,此时若直接采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行测定,极易使仪器的采样锥和截取锥发生堵塞,雾室和炬管积盐,进而影响测定准确性。据此,实验用DTPA浸提样品后,采用对样品溶液稀释10~30倍和在标准溶液系列中加入DTPA溶液进行基体匹配的方法以消除基体干扰,利用氦碰撞模式进行测定以消除多原子离子40Ar16O对56Fe的质谱干扰,最终实现了ICP-MS对石灰性土壤中有效态Cu、Zn、Fe、Mn的测定。对氦气流量进行了优化,并确定氦气流量为4.5mL/min。在优化的实验条件下,Cu、Zn的质量浓度为5~200ng/mL、Fe的质量浓度为100~3000ng/mL、Mn的质量浓度为30~1000ng/mL时,各元素质量浓度分别与其计数值呈线性关系,相关系数均不小于0.9998。方法检出限为0.003~0.01mg/kg。按照实验方法测定土壤有效态成分分析标准物质中的有效态Cu、Zn、Fe、Mn,测定值与认定值一致,相对标准偏差(RSD)为1.3%~3.1%。采用实验方法和标准方法HJ 804—2016(电感耦合等离子体原子发射光谱法)进行方法对照试验,二者测定值基本一致。  相似文献   
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我矿是一个有70年开采历史的老矿山,也是第一个五年计划156项重点建设的工程之一,于1958年建成投产。全矿现有职工5127人,固定资产6691万元,其中生产设备1979台,重量3012t,占固定资产总值的25.2%。因此,加速设备更新改造,不断追求设备寿命周期费用的最佳效果,提高全矿的综合经济效益,是设备工作者的中心任务。近年来,我矿认真贯彻《有色金属工业设备管理试行条例》精神,在抓好现有设备管理的同时,有计划、有步骤、有重点地对陈旧、低  相似文献   
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采用氧化镁半熔、热水浸取法处理样品,用732型阳离子交换树脂处理溶液以减少溶液中盐类含量,实现了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对地质样品中痕量铼的测定。实验表明:通过对氧化镁灼烧、水浸处理,可使氧化镁的铼空白值由0.07ng/g降低至0.025ng/g;采用氢氧化钠凝聚氧化镁沉淀,可减少氧化镁对高铼酸根的吸附,使痕量铼的回收率提高10%左右;过滤时在漏斗颈注入732型阳离子交换树脂吸附阳离子,可有效降低溶液中盐类含量,进而避免了锥孔堵塞、雾室和炬管积盐等干扰测定的现象出现,且过滤和阳离子交换同步完成,简化了分析流程。校准曲线相关系数大于0.9995,方法检出限为0.031ng/g。采用实验方法对含铼地质标准样品和水系沉积物标准样品中铼进行测定,结果与认定值吻合,相对误差(RE)为-6.9%~17.1%,相对标准偏差均不大于6.8%。分别采用实验方法与过氧化钠熔融-丙酮萃取ICP-MS方法对土壤样品(1#~4#)和钼矿样品(5#~8#)中的铼进行方法对照试验,结果基本一致。  相似文献   
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某含砷铅锌矿石浮选试验   总被引:2,自引:0,他引:2  
针对河北某含砷中细粒嵌布难选铅锌矿石的特点,通过大量探索,采用高碱条件下的铅锌依次优先浮选工艺对该矿石进行了选矿试验。试验在铅粗选时以亚硫酸钠+硫酸锌+JSY01组合药剂抑制锌硫砷矿物,在锌粗选时以硫酸铜活化锌矿物,在铅、锌精选时分别以高锰酸钾和石灰+高锰酸钾抑制毒砂,取得了铅精矿品位75.62%、回收率87.63%、含砷0.28%,锌精矿品位45.73%、回收率83.51%、含砷0.44%的良好指标,为选矿厂设计提供了依据。  相似文献   
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