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设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压一驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(micro-electro-mechanical system)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。 相似文献
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表面等离子体透镜(PL)具有优异的光聚束效应,能够形成突破衍射极限的近场光斑,具有广泛的应用前景.为了获得较小的近场光斑,需要选用较短波长的激光入射.选用355 nm径向偏振光作为入射条件,使用COMSOL多物理场耦合仿真软件优化了同心圆环沟槽型PL的结构参数.结果显示,当圆环沟槽半径与槽间距都与表面等离子激元(SPPs)波的波长相等,且增加同心圆环槽数时,SPPs波在PL中心能形成相长干涉,可以获得较大的光增强效应;随着金属膜厚和槽宽的增加,中心处光强先增大后减小,存在最优值.使用聚焦离子束(FIB)加工制备了所设计的PL结构,加工结果具有较好的尺寸精度,但沟槽截面存在一定的锥度.进一步的仿真结果表明,沟槽横截面的小锥度对PL的聚束效应和光增强效应影响较小. 相似文献
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运动速度与边界滑移相关性试验 总被引:1,自引:0,他引:1
利用改进的原子力显微镜,针对微纳米间隙下固液界面的边界滑移现象进行了试验研究,重点考察了两固体表面的相对运动速度与边界滑移的关系.固体壁面样品采用亲疏水性不同的S i(100)表面和十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装膜表面,试验液体采用去离子水.结果表明,两种表面与去离子水作用均会产生边界滑移,而且在试验进行的39~156μm/s的相对趋近速度下,无论表面的浸润性质如何,滑移长度均随着运动速度升高而升高,显示了边界滑移与运动速度的相关性. 相似文献
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