一种用于相移干涉仪的高压放大电路

基于自主研制高精度数字化相移干涉仪的需求,针对干涉仪的压电陶瓷移相器设计了一种高压放大电路。通过双极性运算放大器OP07构成低噪声,非斩波稳零的低压放大电路与中功率线性三极管MJE340和MJE350构成高压放大电路进行直流耦合,结合反馈网络,功率放大电路,滤波电路以及限流保护电路,将计算机输出的0~5 V低电压的移相控制信号稳定线性放大到-30 V~+130 V范围,且输出低至10 mV 峰值的纹波,满足压电陶瓷移相器的高压驱动控制要求和相移干涉仪的高精度移相测量的要求。     

波面检定仪无线调节单元的限位系统设计

为了实现波面检定仪无线调节单元的限位功能,采用限位控制系统来限制电机的位置行程,并通过CC2530控制板获取触发限位开关的电压信息以及精密直流电机的限位状态电压信息。实验结果表明,波面检定仪无线调节单元的限位系统可实现对调节单元的限位控制,并获取相应的限位信息,还能使波面检定仪无线调节单元的调节更加准确和有效,从而可实现对样品面形的精确测量。     

平面绝对检测闭环自检实验研究

基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形。其中平面C的表面面形起伏高度均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别为3.460 nm和35.227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3.783 nm和34.305 nm以及3.669 nm和34.252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检。使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量, 平面的RMS值和峰谷PV值分别为2.400 nm和19.600 nm,与该院的测量结果2.000 nm和16.000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响。     

偏振相移电子错位散斑干涉术及其应用于弯曲板的曲率测量

叙述偏振相移电子错位散斑干涉术的原理以及用可调阶数最小二乘多项式拟合斜度分布求导的方法。用于周边固支矩形板的曲率测量和理论计算结果符合很好。     

一种用于分析条纹图案的自动相位测量法

本文提出一种以离散余弦变换(DCT)为基础的自动相位测量方法并以实验和模拟运算进行验证。     

同步相位算法及其应用于自动条纹图分析

本文提出一种简单而有效的自动条纹图处理算法,运用这种算法可以得到条纹间隔和相位分布。与快速富里叶变换相比较,它具有数据处理量小但又有令人满意的抑制噪声的能力。本文对算法进行了推导并将其应用于全息、散斑等干涉条纹的分析。     

回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法

介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统，基于Fizeau（菲索）干涉原理，通过一高精度直角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360回转圆柱的表面形貌，并且无需图像拼接，可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析，及Matlab软件数值仿真，建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量，测试结果经过主成分误差校正后，与Taylor Hobson接触式圆柱度仪的测量结果一致，通过最小二乘圆（LSC）的圆度评定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明:该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面形貌的测量，解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。     

锥形内表面干涉测量误差分析

为了实现对回转锥形内表面的形貌精密测量,分析了干涉测量中误差产生的原因,明确了误差对测量结果造成的影响。通过在圆柱坐标系下建立数学模型,推导出偏移误差和角度误差的数学公式,并对误差公式进行分析。结果表明:圆锥反射镜的偏移量和顶角的加工误差都会造成光程差;当偏移量极小时,光程差与反射镜偏移量成线性关系;光程差对于角度误差非常敏感,为了保证测量精度,需要严格控制圆锥反射镜的顶角大小。