紫外纳米压印抗蚀剂的研究进展

本文介绍了纳米压印技术的基本原理。总结了紫外纳米压印抗蚀剂的种类以及组分。具体包括丙烯酸酯体系、环氧树脂体系和乙烯基醚体系的配方组成及单体合成方法。比较了各个体系的优缺点。本文还分析了目前国内纳米压印抗蚀剂的研究现状并对其研究方向进行了分析与展望。     

新型紫外光产酸剂的合成及其光聚合动力学研究

以2-硝基噻吩,甲基磺酰氯及苯乙腈为原料合成了一种紫外光产酸剂(5-甲磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚基)-苯基-乙腈(MTPA),通过傅里叶红外光谱仪、核磁共振仪和紫外吸收光谱仪及热重分析对所合成的产物的结构和性能进行了表征,并利用实时红外(RT-IR)对该引发剂进行了光聚合反应动力学研究。考察了单体、产酸剂浓度对引发速率及单体转化率的影响。结果表明,在一定浓度范围内,随着引发剂浓度增大,聚合速率加快,最终的双键转化率也增高。