离子束法淀积类金刚石膜

一、引言自七十年代初。由Aisenberg等人开始至七十年代末Weissmantel等人,用各种不同的离子束淀积方法都生长出了类金刚石碳膜。这种膜的性质透明,绝缘性高,折射系数大,能长期耐酸腐蚀,硬度高能划分玻璃,具有类似于金刚石的性质,故称类金刚石膜。