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1.
在低平坦化压力下用壳寡糖(COS)环保型络合剂及H2O2氧化剂化学机械抛光铝合金,用原子力显微镜观测抛光后的表面质量,并用X射线光电子能谱仪分析其表面的钝化膜元素,用纳米压痕仪分析钝化膜的力学性能,研究COS及H2O2对铝合金CMP的作用机理。结果表明:H2O2质量分数为2%时,材料去除率随COS含量的增加而增大,当COS质量分数为0.32%时,材料的去除速率达861 nm/min,表面粗糙度最低为2.50 nm;COS质量分数为0.50%时,材料去除率随H2O2含量的增加先增大后减小,当H2O2质量分数为1.2%时,材料的抛光去除速率达840 nm/min,同时其表面粗糙度为3.52 nm。加入COS络合剂会在铝合金表面形成主要成分为Al-COS、Al2O3和Al(OH)3的弱钝化膜。   相似文献   
2.
磷烯是继石墨烯和二硫化钼之后一种新型二维材料,具有优异的物理、化学和机械性能,在各类器件中具有很大应用潜力.本文评述磷烯的制备、电子能带结构、光电特性、改性方法及其器件应用.介绍了块体黑磷和磷烯的制备方法,及其物化特性,讨论了磷烯的修饰改性方法,阐述了磷烯在光电转换及医学领域的应用.  相似文献   
3.
为了满足域控制器各芯片散热需求及散热器轻量化设计要求,依据烟囱效应,设计了一种自然对流散热方案。通过单因素控制变量法,探究了翅片厚度、翅片间距、翅片高度和烟囱高度对散热性能的影响及其规律。结果表明:散热器中引入烟囱效应可以显著提升翅片进风口处的气流速度,从而改善自然散热效果。同时还可以减少散热器的质量,降低材料成本。在此基础上,采用中心复合设计方法构建响应面进行多目标优化设计,得到烟囱式散热器最优参数。  相似文献   
4.
雷翔宇 《门窗》2022,(7):162-164
本文对房屋施工监理质量控制的意义作出了总结,介绍了影响房屋建筑工程质量的各种因素、施工设计以及建筑材料,然后又对房屋建设监管各项工作的重点、建设前中后期监理工作质量影响因素和措施展开讨论,并提出个人的见解,以供参考.  相似文献   
5.
为研究添加剂对氮化镓(GaN)晶片化学机械抛光(CMP)材料去除率的影响,采用直流电源对n型GaN晶片进行电化学刻蚀,利用X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)研究电诱导辅助下GaN晶片CMP过程中,对苯二甲酸(PTA)和H 2O 2对其材料去除的影响。结果表明:在添加电流的条件下,随着H 2O 2体积分数增大,GaN材料去除率先升高后降低;随着PTA浓度的增加,GaN材料去除率先增加后减少;在H 2O 2体积分数为4%,PTA浓度为10 mmol/L条件下,GaN晶片的化学机械抛光材料去除率最高,为693.77 nm/h,抛光后GaN晶片表面粗糙度为0.674 nm;通过XPS分析,电诱导后GaN晶片表面的Ga 2O 3含量增加,表明电流作用促进了GaN材料表面的氧化腐蚀作用,进而提高了其CMP材料去除速率。  相似文献   
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