EB制作1：1主掩模的工艺研究

一、前言众所周知，在掩模制造技术中，常规的光学方法制作主掩模流程如图且（a）所示，制作一块主掩模需用版材两块。电子束制作主掩模的流程如图1（b）所示，制作一块主掩模只用版材一块。比较图亚（a）和（b），可清楚地看到，（a）的制作流程长，费时且费料，（b）的制作流程短，节省材料，降低成本。凶！主掩模制作流程图随着集成电路规模的不断增大，芯片面积越来越大，有些已超出了精缩机的视场范围，精缩机的视场是100mmX100mm，用光学方法制作主掩模已不能完全满足用户的需要。由于以上种种原因，研究开发采用电子束设备（简称＊B…     

气体膜分离过程

主要分析了气体膜分离过程中的三个阶段：溶解过程、扩散过程和解吸过程，并在基本假设下用三膜模型进行了描述，即原料侧和透过气体主体与膜之间都存在着层流内层的气体膜，这两膜影响着气体与膜的传质，但对传质起着决定作用的是薄膜的各种参数和对不同气体的不同渗透率。     

微米／亚微米测试校正版的研制及测试

本文主要阐述研制微米／亚微米测试校正版的意义，在研制过程中解决电子束邻近效应、拼接校正、等离子刻蚀、测试技术等几个关键技术问题。完成了多功能、大范围、高精度、边缘较好的微米／亚微米测试校正版。通过测试、分析可以应用于各单位的条宽测量仪器的校正，解决了CD尺寸测试中存在的系统误差问题。这项技术对我公司以及外协单位条宽测试仪的CD尺寸值统一有着重大意义。     

关于现行参考文献著录规则的形式化认识及建议

本文从形式化系统和《标准化工作导则：第1部分：标准的结构和编写规则》的两个方面考虑了GB/T 7714-2005《文后参考文献著录规则》的著录符号和著录规则等问题,指出了《文后参考文献著录规则》著录符号、著录规则中存在的内部不一致性,并且从实用性角度出发,指出了其中相对完备性不足及不够简明等问题。最后,给出了关于消除不一致性和简化著录方面的几点建议。     

石油化工企业图纸的管理

为适应设备管理现代化的需求，提高设备管理水平，为企业设备管理现代化提供最佳手段，笔者开发研制了设备管理信息系统。应用本系统，不论何时需要调用图纸，都可以随时进行查询，完全可以解决现场设备故障发生的随机性所引发的问题。系统提供的查询功能，使信息访问者在权限范围内能对信息进行任意地筛选过滤和组合查询，以快速地得到所需要的信息。     

油罐安全储油高度分析与探讨

油罐是储存油品的容器，是储运系统的主体设施之一。在石油储存作业时，为了达到既能充分利用油罐的储存能力，不浪费油罐的容积，又能够在油罐一旦发生火灾时可以满足灭火泡沫的厚度所占体积的要求，因此在油罐收发油品前，就要计算出准确的油罐安全容量和收油安全高度。这不仅可以提高油罐的利用率，减少油品蒸发损失，提高油罐的稳定性，还可以防止油温升高造成冒罐跑油或损坏设备。     

浅谈20t电弧炉电气系统的改造

电弧炉电气系统改成变频器控制后，减少了设备故障，设备维修更加方便。提高了生产率，降低了冶炼成本。     

30 t桥式起重机主钩电机烧毁原因分析

30t桥式起重机主钩电机烧毁，经分析确认是由于工作制改变、负荷改变后对电机功率未进行校核．运行中超负荷所致。     

喷镀锌层的防腐对策

讨论了细砂基础和沥青基础上的油罐底板实施喷镀锌层的防腐措施,利用极值统计分析对喷镀锌层的防腐期和耐腐效果进行了推测,该方法对今后的工作提供了可借鉴的经验。     

镀锌钢板的应用效果

喷镀锌层防腐方法在现场已经应用了10年。从腐蚀现状来看,在油罐的环形钢板上喷镀300～400μm厚的锌层确实解决了腐蚀问题,金属的总厚度基本没有减少。喷镀锌层厚度在480～610μm的试片掩埋在油罐各夹道下面10年后,其表面几乎没有锈蚀,腐蚀速率小于0.021mm/a。现场应用已经证实,钢板喷镀锌层是行之有效的防腐措施。