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提供了一种考虑到微制造工艺实际的对微胶体推进器的起始电压进行估计的方法.本方法的关键在于把基于深度干法腐蚀的微推进器的两极简化成一组双曲等势面中的两个,利用拉麦方程得到微推进器两极间静电场分布的近似解.进而分析微胶体推进器源极顶端工质液滴的静电力和表面张力的平衡,得到微胶体推进器的起始工作电压.按照工作电压的估计方程,基于ICP腐蚀,设计了4种微胶体推进器.利用悬臂梁和电涡流微位移传感器对微推进器的测试结果表明,利用该方法对微胶体推进器起始电压进行的估计和实际测试结果有很好的一致性. 相似文献
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信号源是航天遥测试验的核心部件,它作为地面设备提供实验过程中所需的各种参数;本信号源采用模块化设计方法,将PCI技术和FPGA技术进行有机结合,对信号源进行了系统方案设计、系统硬件设计和系统软件设计等工作,通过控制FPGA内部ROM的读写、高精度D/A转换器AD9744的转换和多路选择开关ADG1208的选通,产生多路参数可控模拟信号输出;测试结果满足设计要求,已经成功应用于某地面测试设备的自检和检测中。 相似文献
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在这项工作中,设计一种新颖的热电堆红外探测器结构。该检测器利用悬浮吸收层-热电堆双层结构来实现高性能,同时具有相对小的尺寸。该双层结构的实现是通过引入两个分离的牺牲层,分别包括热电堆下方的多晶硅膜和其上方的聚酰亚胺沉积实现。尺寸优化后的仿真结果表明,该红外探测器的探测率、响应率和响应时间分别可以达到2.85e8 cmHz ( 1/2) / W, 1800 V / W和6毫秒。此外,本文提出热电堆红外探测器的制造方法是高度兼容于标准的CMOS工艺,这就使其高产量和低成本的生产成为可能。 相似文献