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1.
光学非球面最佳参考圆的确定及其应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
应用干涉法测非球面,必须测量参考球面的曲率半径才能得到非球面的面形,因此需要精密的测长机构.本文介绍一种在一维测量时,用数学方法确定非球面最佳参考圆的参数,进而由干涉图求得非球面面形或面形误差的新方法,从而可省去测长机构.所提出的微扰动阻尼牛顿迭代法求非线性最小二乘解,经实践证明,有很好的迭代效果.  相似文献   
2.
在相移剪切干涉图一维数据处理的基础上,提出了一种干涉图的二维数据处理方法,经实验验证,本方法处理后可以清楚地看出整个被测波面的面形误差,精度达到了0096μm,且具有装置简单、处理速度快的特点  相似文献   
3.
相移电子散斑干涉法测量面内变形   总被引:2,自引:0,他引:2  
叙述了相移式电子散斑干涉法测量面内变形的原理、电子散斑图的计算机处理方法及测量例.采用分段多次测量可以扩大面内变形的测量范围,和一般电子散斑干涉术相比,相移式电子散斑干涉法提高了相关条纹位相的计算精度,因而提高了面内变形的测量精度,并可得到面内变形的三维立体图.  相似文献   
4.
角锥棱镜的误差分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文根据光的矢量形式的反射定律,导出了角锥棱镜的出射光线偏角误差与角度误差的关系式,讨论了三种特殊情况下的出射光线偏角误差,并对各反射面和折射面面形误差对出射光束的影响进行了分析计算,所得结论可为角锥棱镜角度公差及面形误差的给定提供理论依据。  相似文献   
5.
在相移干涉测试技术中通常都采用压电陶瓷元件作为相移元件;本文介绍了两种压电陶瓷元件驱动电路的工作原理并对两种方案进行了比较.  相似文献   
6.
本文叙述了在OTF测定仪中为了保证一定的测量精度对光学系统各组分应作如何要求。还讨论了非相干照明的条件,窄带滤光片的带宽和扫描光栅的精度要求。  相似文献   
7.
将浸有被测非球面透镜的液槽置于泰曼干涉仪的测试光路中,调整液体的折射率以改变通过被测件各点光线的光程差,使出现干涉条纹。干涉条纹的高差当量由一般干涉测试的λ/2变为λ/2(n_0-n),即可在一般的干涉仪上测量深度非球面。因此该方法是一种非常简便、实用的测量非球面的新方法。本文叙述了该方法的测量原理、测定精度、适用范围,并给出一个测量实例。  相似文献   
8.
研制了用于测量光学非球面面形的条纹扫描型棱镜式剪切干涉仪。介绍了该仪器的测量原理、电路和数据处理过程。还推出了二次曲面与最适球面的差值。这样,当最适球面半径与被测件孔径相比很大时不测最适球面半径也可得到被测面相对于设计值的偏差。最后给出了一个非球面面形的测量例。  相似文献   
9.
在横向剪切干涉技术的基础上 ,讨论了几种波面重建的方法 .分析表明 ,斜率法快速、简单 ,但精度受剪切量的大小、波面复位等影响较大 ;里默法精度高 ,但计算量太大 ,不适合实时处理 ;矩阵求逆法精度介于两者之间 ,且计算量较里默法大大减少  相似文献   
10.
本文详细叙述了显微物镜传递函数测量装置,测量原理及测量结果。  相似文献   
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